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这个被称为电子特气的“血液”,在芯片制造中扮演着不可替代的角色,光刻、刻蚀、清洗、掺杂,几百道工序中超过一半都离不开它。
对纯度的要求极为苛刻,最低要达到99.9999%,更高端的甚至要到99.999999%,这意味着每一立方米气体中杂质只能有一粒尘埃那么多。
过去三十年,这样的高纯度电子特气市场几乎被四家外企垄断,美国空气化工、法国液化空气、德国林德和日本大阳日酸控制了85%的份额,中国高端电子特气国产化率长期为零。
对于8英寸及以上晶圆厂来说,所需特气百分百依赖进口,极易形成供应链瓶颈。
2019年,国内某大型半导体厂因关键特气断供,生产线停工数日,直接损失超过亿元,这种被“卡脖子”的痛苦代价令人警醒。
他发现电子特气的利润远高于普通工业气体,一瓶光刻气的利润能拉好几车乙炔。
华特团队经过八年死磕,攻克多项核心技术,2012年成功实现国产化,指标达到国际顶尖水平。
但光刻气好不代表能用,气瓶内壁的纳米级粗糙度控制同样关键,否则杂质会污染气体。
华特累计送样超两百批次,完成数百项测试和整改,研发人员连续几个月24小时坚守实验室,整整花了39个月才获得台积电和ASML的认证资格。
通过认证后,局面完全颠倒,台积电、英特尔、三星、海力士纷纷主动采购,价格比进口产品低50%,国产替代带动了整个供应链价格的大幅下降。
俄乌冲突爆发后,全球稀有气体供应链遭遇断裂,作为全球主要氖气产地的乌克兰陷入战火,欧洲厂商急需稳定供应。
华特迅速启动转炉煤气提氖中试线小时内产能翻倍,保障了欧洲ASML配套厂的稳定供应。
中国不仅从“被卡脖子”变成了全球供应商,还积极参与国际标准制定,2023年中国电子特气整体国产化率达到46.3%,光刻气从零跃升至28.7%。
苏州金宏实现了超纯氨7N以上的制备,宁波江丰在靶材领域取得关键进展,南京大学光电技术研究院成功开发了砷烷和磷烷等关键特殊气体。
这一系列进步不仅提升了国产气体的质量,更形成了完整的产业生态,推动了半导体制造自主可控的进程。
从市场角度看,电子特气行业的高壁垒和高利润性质使得国内企业早期进入门槛极高。
根据行业数据显示,2018年三氟化氮的市场均价因国产替代下降了57%,高纯硅烷价格也下降了43%。
这对于国内半导体厂商如中芯国际、长江存储等来说,是极大的利好,有助于增强竞争力。
以佛山为核心的电子特气产业带,吸引了大量人才和资本投入,推动了相关产业链上下游的协同发展。
专家指出,电子特气的国产化不仅是技术突破,更是产业链安全的重要保障,尤其在国际形势复杂多变的环境下,保障供应链稳定变得尤为关键。
39个月的认证过程,超过380项问题整改,200多批次样品测试,每一步都充满了挑战。
这样的企业精神和技术积累,为中国半导体产业自主可控提供了坚实基础,也为未来的高端制造业树立了标杆。
电子特气的国产化不仅改变了供应格局,也为全球半导体产业链带来了新的竞争态势。
国产产品以更优的价格和稳定的品质吸引了世界顶尖芯片制造商,打破了长期以来的技术垄断。
未来,随着更多企业加入研发和生产,国产电子特气的市场份额还将持续扩大,推动中国半导体产业迈向更高台阶。
从石平湘在南海的小作坊,到华特气体成为台积电和ASML认可的合作伙伴,这条路充满了血汗和坚持。
国产电子特气的崛起,是中国制造业自主创新的缩影,是产业“卡脖子”问题被攻克的现实写照。